electron-beam micromachining

См. также в других словарях:

• Electron beam lithography — (often abbreviated as e beam lithography) is the practice of scanning a beam of electrons in a patterned fashion across a surface covered with a film (called the resist),cite book |last= McCord |first=M. A. |coauthors=M. J. Rooks |title=… …   Wikipedia

• micromachining — ˌ noun ( s) Etymology: micr + machining, gerund of machine (II) : the removing (as in drilling, planing, or shaping) of small amounts of material (as metal) by action other than that of a sharp edged tool …   Useful english dictionary

• Microelectromechanical systems — (MEMS) (also written as micro electro mechanical, MicroElectroMechanical or microelectronic and microelectromechanical systems) is the technology of very small mechanical devices driven by electricity; it merges at the nano scale into… …   Wikipedia

• Elektronenstrahllithografie — Die Elektronenstrahllithografie (ESL, englisch electron beam lithography oft als e beam lithography abgekürzt) ist in der Mikro und Halbleitertechnik ein spezielles Verfahren zur Strukturierung einer Elektronenstrahl empfindlichen Schicht… …   Deutsch Wikipedia

• Lithographie a faisceau d'electrons — Lithographie à faisceau d électrons L utilisation d un faisceau d électrons pour tracer des motifs sur une surface est connue sous le nom de lithographie par faisceau d électrons. On parle également de lithographie électronique. Par rapport à la… …   Wikipédia en Français

• Lithographie À Faisceau D'électrons — L utilisation d un faisceau d électrons pour tracer des motifs sur une surface est connue sous le nom de lithographie par faisceau d électrons. On parle également de lithographie électronique. Par rapport à la photolithographie, l avantage de… …   Wikipédia en Français

• Lithographie à faisceau d'électrons — L utilisation d un faisceau d électrons pour tracer des motifs sur une surface est connue sous le nom de lithographie par faisceau d électrons. On parle également de lithographie électronique. Par rapport à la photolithographie, l avantage de… …   Wikipédia en Français

• Excimer laser — An excimer laser (sometimes, and more correctly, called an exciplex laser) is a form of ultraviolet laser which is commonly used in eye surgery and semiconductor manufacturing. The term excimer is short for excited dimer , while exciplex is short …   Wikipedia

• Электронная литография — или электронно лучевая литография  метод нанолитографии с использованием электронного пучка. Остросфокусированный электронный пучок, отклоняемый магнитной системой, прорисовывает нужные конфигурации на поверхности чувствительного к… …   Википедия

• 3D microfabrication — relates to the engineering of bulk solids on the micrometre or submicrometre scale. Although the term nanofabrication might be considered for the submicrometre scale, it is not in common use, and tends to relate to a bottom up approach (while… …   Wikipedia

• Microfabrication — Synthetic detail of a micromanufactured integrated circuit through four layers of planarized copper interconnect, down to the polysilicon (pink), wells (greyish) and substrate (green) Microfabrication is the term that describes processes of… …   Wikipedia